晶圆表面缺陷检测仪器是半导体生产过程中非常重要的一部分，它可以帮助工程师在生产过程中及时发现晶圆表面的缺陷，以确保产品的质量。本文将从多个方面详细介绍晶圆表面缺陷检测仪器的相关知识，帮助读者更好地了解这一领域。 一、什么是晶圆表面缺陷检测仪器 晶圆表面缺陷检测仪器是一种用于检测晶圆表面缺陷的设备。它可以通过光学、电学、机械等多种方式对晶圆进行检测，以发现表面的缺陷和污染物，从而确保产品的质量。 二、晶圆表面缺陷检测仪器的分类 晶圆表面缺陷检测仪器可以分为光学检测仪器、电学检测仪器和机械检测仪器